精密位移定位技术根据定位行程的不同可分为，微行程和大行程定位技术。微行程定位技术是指几纳米至几百微米的定位行程的精密定位；大行程定位技术是指几毫米至几百毫米的定位行程的精密定位
由于大行程定位技术比微行程定位技术有较大的定位行程，所以大行程定位比微行程定位技术的应用更广泛...
在集成电路中，要求承载晶圆的工作台能在多维方向上进行毫米级行程内的具有纳米级定位精度的定位才能实现对直径较大的晶圆的加工制造
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南通电动组合台
更新时间：2024-02-25 00:26:14
