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广东M4D9-17划片刀半导体晶圆切割刀

更新时间:2025-03-06 17:50:19 编号:4e3k1vtn0e6820
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  • M4D9-17 划片刀 ,半导体晶圆切割刀

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徐发杰

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广东M4D9-17划片刀半导体晶圆切割刀

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目前,机械式金刚石切割是划片工艺的主流技术。在这种切割方式下,金刚石刀片(Diamond Blade)以每分钟3万转到4万转的高转速切割晶圆的街区部分,同时,承载着晶圆的工作台以一定的速度沿刀片与晶圆接触点的切线方向呈直线运动,切割晶圆产生的硅屑被去离子水(DI water)冲走。依能够切割晶圆的尺寸 ,目前半导体界主流的划片机分8英寸和12英寸划片机两种。

划片机一般提供两种切割模式,单刀切割(Single Cut)和台阶式切割(Step Cut),实验证明,划片刀的设计不可能同时满足正面崩角、分层及背面崩角的质量控制的要求。这个结论对于晶圆厚度大于7 mil的低k晶圆尤为适用。为了减小正面金属层与ILD层的分层,薄划片刀会被采用,若晶圆较厚,则需选取刀锋较长的刀片。但须注意,具有较高刀锋/刀宽比的划片刀在切割时会产生摆动,反而会造成较大的正面分层及背面崩角。
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切割毛刺

毛刺在晶圆的切割边缘形成的微小的材料残留,毛刺不仅影响芯片的外观,而且对芯片的性能和后续加工步骤产生负面影响。
MEMS导电胶 绝缘胶 低应力胶2025D 84-1LMI JM7000
厚膜导电胶84-1A 84-1LMI 84-1LMIT1 JM7000 84-3 2025D
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LED、电源、新能源行业胶黏剂供应商,技术人员提供整体用胶解决方案。
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