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湿度被定义为气体中水蒸气的含量，是一个重要的环境参数，常用单位有：克/升，PPM，mmHg，露点及相对湿度等。测量气体湿度的基本量是混合比，即水蒸气质量和干气质量之比，用重量法湿度计得以实现。但用重量法测量混合比技术难度大、操作繁琐，实际测量湿度量值大多数采用露点。习惯上以露点-20℃为界把所测气体分为高湿度气体与低湿度气体（即微量水）。
大气中的水蒸气影响着自然界的物理、化学和生物过程。湿度影响气体的热、电、光和传递方面的特性。环境湿度还影响固体和液体材料中的水分含量，引起材料的尺寸变化，金属材料的腐蚀，甚至决定生物体的存亡。湿度测量和控制广泛应用于航空航天、微电子、原子能、石油化工、电力、气象、仓储等领域。鉴于湿度测量的重要性，各国都在不断更新改造其湿度标准。
镜筒
镜筒包括电子枪、聚光镜、物镜及扫描系统。其作用是产生很细的电子束(直径约几个nm)，并且使该电子束在样品表面扫描，同时激发出各种信号。
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